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辨向原理(li)
在實際應用(yong)中,位(wei)(wei)(wei)移(yi)具有兩個(ge)方(fang)向,即(ji)選定一個(ge)方(fang)向后(hou),位(wei)(wei)(wei)移(yi)有正(zheng)負(fu)之(zhi)分,因此用(yong)一個(ge)光(guang)(guang)電元件(jian)測定莫(mo)爾條(tiao)紋信(xin)號(hao)(hao)確定不了位(wei)(wei)(wei)移(yi)方(fang)向。為了辨(bian)向,需要有π/2相位(wei)(wei)(wei)差(cha)的(de)兩個(ge)莫(mo)爾條(tiao)紋信(xin)號(hao)(hao)。如圖(tu)2,在相距(ju)1/4條(tiao)紋間距(ju)的(de)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)上安(an)放(fang)兩個(ge)光(guang)(guang)電元件(jian),得到兩個(ge)相位(wei)(wei)(wei)差(cha)π/2的(de)電信(xin)號(hao)(hao)u01和(he)u02,經過整形后(hou)得到兩個(ge)方(fang)波信(xin)號(hao)(hao)u01’和(he)u02’。光(guang)(guang)柵(zha)正(zheng)向移(yi)動(dong)時u01超(chao)前(qian)u0290度(du),反向移(yi)動(dong)時u02超(chao)前(qian)u0190度(du),故通過電路辨(bian)相可確定光(guang)(guang)柵(zha)運動(dong)方(fang)向。
細(xi)分(fen)技術
隨著對(dui)測(ce)量(liang)精度(du)要(yao)求(qiu)的(de)提(ti)(ti)高(gao),以柵距為單位已(yi)不(bu)能滿足(zu)要(yao)求(qiu),需要(yao)采(cai)取適當的(de)措施(shi)對(dui)莫(mo)爾(er)條(tiao)紋進行細(xi)分(fen)。所謂細(xi)分(fen)就是在莫(mo)爾(er)條(tiao)紋信號變化(hua)一(yi)個周(zhou)期(qi)內(nei),發出若干個脈(mo)(mo)沖,以減少脈(mo)(mo)沖當量(liang)。如(ru)一(yi)個周(zhou)期(qi)內(nei)發出n個脈(mo)(mo)沖,則可使(shi)測(ce)量(liang)精度(du)提(ti)(ti)高(gao)n備(bei),而每(mei)個脈(mo)(mo)沖相當于(yu)原(yuan)來柵距的(de)1/n。由于(yu)細(xi)分(fen)后計數(shu)脈(mo)(mo)沖頻率提(ti)(ti)高(gao)了n倍,因此(ci)也稱n倍頻。
通常(chang)用的(de)有兩種細分(fen)(fen)方法:其(qi)一(yi)、直接細分(fen)(fen)。在相(xiang)差(cha)(cha)1/4莫爾(er)條(tiao)紋(wen)間(jian)距的(de)位置(zhi)上安放兩個光(guang)電(dian)元件(jian),可得到兩個相(xiang)位差(cha)(cha)90o的(de)電(dian)信(xin)號(hao)(hao),用反(fan)相(xiang)器(qi)反(fan)相(xiang)后就得到四(si)(si)個依次相(xiang)差(cha)(cha)90o的(de)交流信(xin)號(hao)(hao)。同(tong)樣,在兩莫爾(er)條(tiao)紋(wen)間(jian)放置(zhi)四(si)(si)個依次相(xiang)距1/4條(tiao)紋(wen)間(jian)距的(de)光(guang)電(dian)元件(jian),也(ye)可獲得四(si)(si)個相(xiang)位差(cha)(cha)90o的(de)交流信(xin)號(hao)(hao),實現四(si)(si)倍頻(pin)細分(fen)(fen)。其(qi)二、電(dian)路細分(fen)(fen)。